网址在线观看你懂的_国产一区二区三区久久精品_日韩专区在线观看_日本久久中文字幕_91麻豆成人精品国产_国产又粗又猛又大爽又黄老大爷_26uuu另类亚洲欧美日本_天堂网男人_777午夜_亚洲夜夜夜_亚洲精品自偷自拍无码_大j8黑人w巨大888a片

真空室尺寸（MM）

1000×1000

1200×1200

1600×1800

2000×1800

膜層顏色 

鈦金色、香檳金、淡青銅、鋯金、玫瑰金、玫瑰紅、古銅、紅銅、灰黑、槍黑、紫金、深褐色、寶石藍(lán)、茶色、炫彩、不銹鋼本色、咖啡色、紫紅、紫羅蘭、草綠等

極限真空

6.0E-4Pa

抽氣時(shí)間

空載大氣至5.0E-3Pa小于15分鐘

壓升率

1h≤0.5Pa

真空泵組

機(jī)械泵+羅茨泵+擴(kuò)散泵/分子泵/深冷系統(tǒng)+維持泵

加熱系統(tǒng)

常溫至300℃可調(diào)可控（PID控溫），不銹鋼加熱管加熱

加氣系統(tǒng)

質(zhì)量流量控制儀（1-4路）

靶結(jié)構(gòu)

圓弧靶、柱弧靶或平面靶、中頻孿生柱靶、條形離子源

電源類型

中頻濺射電源、弧電源、高壓轟擊偏壓電源、直流濺射電源、離子源電源等

工件旋轉(zhuǎn)方式

公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn) 變頻可控可調(diào)1-5轉(zhuǎn)/分

控制方式

手動(dòng)+半自動(dòng)+全自動(dòng)一體化+PLC+IPC

備注

設(shè)備各配置指標(biāo)可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求定制。