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磁性材料鍍膜設備
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產品簡介
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適用于磁性材料表面防腐涂層的制備，通過磁控濺射、蒸發、電弧、離子轟擊等、在基材表面快速鍍制鋁/合金、鈦、鉻等金屬薄膜，具有防腐性能高、膜層結合力好、生產過程無任何污染、避免電鍍液的殘留導致產品不良等特點。
優點優勢
工藝技術支持；
提高耐腐性；
高生產率；
技術指標
| 設備型號 | SP-1212AS | SP-1512AS | SP-1912AS | SP-1515AS |
| 真空室尺寸（mm） | 1200×1200 | 1500×1200 | 1900×1200 | 1500×1500 |
| 極限真空 | 6.0E-4Pa | |||
| 抽氣時間 | 空載大氣至5.0E-3Pa小于15分鐘 | |||
| 壓升率 | 1h≤0.5Pa | |||
| 真空泵組 | 機械泵+羅茨泵+擴散泵/分子泵/深冷系統+維持泵 | |||
| 加熱系統 | 常溫至300℃可調可控（PID控溫） | |||
| 加氣系統 | 質量流量控制儀（1-4路） | |||
| 靶結構 | 圓弧靶、柱狀濺射靶、條形離子源 | |||
| 電源類型 | 直流濺射電源、弧電源、高壓轟擊偏壓電源、離子源電源等 | |||
| 工件旋轉方式 | 公轉+自轉 變頻可控可調1-5轉/分 | |||
| 控制方式 | 手動+半自動+全自動一體化+PLC+IPC | |||
| 備注 | 設備各配置指標可按客戶產品及特殊工藝要求定制。 | |||
應用領域
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