臥式連續(xù)線
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產(chǎn)品簡介 .png "品牌(2).png"){kind=small}
我司自2007年起連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線投放市場，針對(duì)各個(gè)行業(yè)、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)、涂層性能等不同需求針對(duì)性推出多款機(jī)型，并根據(jù)產(chǎn)品所需性能特點(diǎn)進(jìn)行詳細(xì)分類設(shè)計(jì)、建造，使裝備行成標(biāo)準(zhǔn)化機(jī)型。
它承載著PVD鍍膜工業(yè)未來發(fā)展使命，經(jīng)過近十幾年的發(fā)展設(shè)備已達(dá)到全自動(dòng)化、標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)狀態(tài)，正向智能化生產(chǎn)車間發(fā)展邁進(jìn)，有效提高產(chǎn)品品質(zhì)、降低生產(chǎn)成本，節(jié)能減排，使企業(yè)提高產(chǎn)品核心競爭力。
優(yōu)點(diǎn)優(yōu)勢
靈活配置以滿足特定的生產(chǎn)需求；
采用閉環(huán)控制器提高涂層均勻性；
無縫對(duì)接式運(yùn)行，提高生產(chǎn)率；
優(yōu)化的磁性配置，具有出色的均勻性和利用率；
技術(shù)指標(biāo)
設(shè)備型號(hào) | SP-0610AS | SP-1316AS | SP-2616AS | SP-3020AS |
真空室尺寸（mm） | 600×1000 | 1300×1600 | 2600×1600 | 3000×2000 |
極限真空 | 6.0E-4Pa | |||
抽氣時(shí)間 | 空載大氣至5.0E-3Pa小于20分鐘 | |||
壓升率 | 1h≤0.5Pa | |||
真空泵組 | 機(jī)械泵+羅茨泵+分子泵/深冷系統(tǒng)+維持泵 | |||
加熱系統(tǒng) | 常溫至300℃可調(diào)可控（PID控溫） | |||
加氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量控制儀（1-6路） | |||
靶結(jié)構(gòu) | 弧靶、柱狀濺射靶、平面濺射靶、條形離子源 | |||
電源類型 | 弧電源、直流濺射電源、中頻濺射、高壓轟擊偏壓電源、射頻電源等 | |||
工件運(yùn)行方式 | 臥式線性運(yùn)行 | |||
控制方式 | 手動(dòng)+半自動(dòng)+全自動(dòng)一體化+PLC+IPC | |||
備注 | 設(shè)備各配置指標(biāo)可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求定制 | |||
應(yīng)用領(lǐng)域
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